Oprema

Dvostrani poravnjavač

EV Group – E. Thallner, GmbH Aligner EVG 6200276

Uređaj za dvostrano uklapanje likova na fotomaski i na poluprovodničkoj pločici i osvetlјavanje fotoosetlјivog materijala ultralјubičastom svetlošću (350 – 450 nm).

Milena Rašlјić Rafajilović
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Uređaj za lasersku izradu maski i fotolitografiju

Microtech s.r.l. LaserWriter LW - 405

Uređaj se koristi za izradu maski i fotolitografiju – direktno iscrtavanje.

Milče Smilјanić
smilce@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Bonder sa poravnjavačem

AML-Applied Microengineering Ltd 18X-264VAC-47-63HZ-1.8W AML-AWB 04 Kapitalna oprema

-„in-situ“ poravnjavanje (alining) i podešavanja likova na supstratima (x, y, z & θ), -tačnost do 2 μm, -poluautomatska PC kontrola i akvizicija podataka, -primena napona i do 2.5 kV, -temperature bondovanja i do 560 oC, -primenjena sila i do 15000 N, -samoregulišući suv sistem za vakuumiranje , moguć vakuum u radnoj komori 10-6 mbar. -brzo hlađenje uspostavlјanjem protoka azota, itd.

Žarko Lazić
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Mikroskop sa skanirajućom sondom - SPM i AFM

TM Microscopes-Bruker, USA-GER AutoProbe CP-Research Kapitalna oprema

Namenjen za ispitivanja morfologije površine metodom skenirajuće tunelirajuće mikroskopije i mikroskopije atomskih sila. Opcije: nanolitografija, nanoindentacija. Uređaj ima mogućnost ispitivanja uzoraka u tečnostima. Maksimalne dimenzije uzorka: 50 mm x 50 mm x 20 mm

Dana Vasilјević-Radović
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Mikroskop sa skanirajućom sondom - AFM

NT-MDT, Russia NTEGRA Prima Kapitalna oprema

Namenjen za ispitivanja morfologije površine metodom mikroskopije atomskih sila. Opcije: nanolitografija, nanoindentacija, određivanje magnetnih i električnih osobina uzorka. Uređaj ima mogućnost ispitivanja uzoraka u kontrolisanoj atmosferi, vakuumu i u tečnostima. Maksimalne dimenzije uzorka: prečnik – do 40 mm, visina – do 15 mm.

Danijela Ranđelović danijela@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

FT-IR Spektrofotometar

Thermo Scientific FT-IR 6700 Thermo Scientific Nicolet Kapitalna oprema

FT-IR 6700 je infracrveni spektrofotometar sa Furijeovom transformaciom. Ima mogućnost merenja transmisije i ATR merenja. Talasne dužine koje pokriva osnovni uređaj pripadaju bliskoj i srednjoj infracrvenoj oblasti – od 350 cm-1 do 13,500 cm-1 (740 nm do 28,6 μm).

Katarina Radulović
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

FT-IR Mikroskop

Thermo Scientific iN10 Microscope

iN10 FT-IR miroskop je inovativni instrument sa mogućnošću merenja malih uzoraka (svega nekoliko mikrometara) i ima mogućnost merenja u tranmisiji, refleksiji, kao i ATR merenja. Pomoću CCD kamere dobijamo sliku u vidnom delu, a IR detektor omogućava dobijanje IR spektra sa površine uzorka (min 50 μm x 50 μm). U konfiguraciju je uklјučen HgCdTe detektor hlađen tečnim azotom.

Katarina Radulović
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Analizator spektra

Tektronix RSA3308B

Analiza spektra električnog signala u realnom vremenu (u opsegu širine do 15 MHz) Opseg učestanosti: DC do 8GHz, Frequency Mask Trigger, DANL: -150 dBm/Hz (@1 GHz) Ulazna impedansa: 50 Ω, Maksimalan dozvolјeni nivo signala na ulazu: +30dBm

Miloš Frantlović
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

„Lock-In“ Pojačavač

Signal Recovery 7280 DSP

Instrument koji omogućava izdvajanje signala u prisustvu velikog šuma i merenje čistih signala na velikom opsegu frekvencija i amplituda.

Miloš Frantlović
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Programabilni dvokanalni elektronski kalibrator pritiska

Mensor APC 600

Uređaj za zadavanje referentnog pritiska gasa radi etaloniranja mernih instrumenata, merna nesigurnost 0.01%, opsezi 0-2 bar, 0-16 bar i 0-100 bar

Miloš Frantlović
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Spiner

Laurell Technologies Spin Processor WS-650Mz-23NPP

Uređaj za nanošenje tankih slojeva fotorezista i drugih materijala u tečnom stanju

Milena Rašlјić Rafajilović
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

„Glove box“ sistem

Mbraun

Omogućava rad u atmosferi argona sa kontrolom prisustva vlage i kiseonika.

Katarina Cvetanović
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Planetarni mlin

FRITSCH Mill PULVERISETTE 7 premium line

Planetarni mlin sa posudom zapremine do 80 ml. Namenjen je za fino mlevenje manjih količina uzoraka. za mlevenje različitih tipova uzoraka: farmaceutskih, metalurških, mineroloških, hemijskih, bioloških uzoraka, kao i uzoraka zemlјišta. Maksimalna finoća mlevenja je 0,1 µm.

Jelena Stevanović
jelena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Uređaj za zavarivanje

OREKLION - Welding, Ltd. PLASMAFIX 50S

Mašina za zavarivanje visoke preciznosti sa mogućnošću varijacije intenziteta, koristi mikroplazmu za zavarivanje tankih membrana transmitera pritiska. Mogućnost finog podešavanja izlazne struje od 0 do 50 A.

Bogdan Popović
bogdanp@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Uređaj za katodno raspršivanje

Sputtering System MRC 822

Spaterovanje tankih slojeva RF i DC metodom.

Milija Sarajlić
milijas@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Peći za difuziju sa 6 grejnih elemenata, za planarne tehnologije na Si

Helmut Seier, GmbH Labor-Centurion 666

Procesi u pojedinim elementima: difuzija primesa fosfora, difuzija primesa bora (plitka i duboka u odvojenim cevima), vlažna ili suva oksidacija u struji kiseonika u cevi za Si n-tipa ili u cevi za Si p-tipa, odgrevanje difundovanih slojeva, svih 6 grejača je jednoobrazno: temperatura od 400 do 1400°C, korisni prečnik je 135 mm, zona zagrevanja je 200 mm sa tačnošću 0,5°C

Katarina Cvetanović
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Uređaj za osvetlјavanje filmova i fotoploča

Mivatec Hard- und Software, GmbH MIVA 2516 T3

Uređaj sa ksenonskom lampom kao izvorom svetlosti, pomoću koga se direktno prenose projektovani likovi (zadati u odgovarajućem PC formatu) na film ili fotoploču

Žarko Lazić
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Automatski prober

KARL SUSS AP4

Namenjen za automatsko i manuelno merenje i karakterizaciju poluprovodničkih komponeneta prečnika do 100 mm, istovremeno merenje u 42 tačke što omogućava merenje složenijih komponenata-integrisanih kola, opremlјen stereo mikroskopom sa mogućnošću zumiranja, automatsko kretanje u x i y pravcu sa minimalnim korakom od 10 μm.

Žarko Lazić
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Profilometar

Taylor-Hobson

Profilometar za merenje deblјine tankih filmova (do 1 nm) kao i za merenje hrapavosti u oblasti mikroelektronske industrije u metalurškim istraživanjima, opremlјen elektronskim pojačavačem i automatskim pisačem za registraciju kretanja merne igle i monokularnim mikroskopom sa uvećanjem do 10x, podešavanje sile merne igle u opsegu od 10 do 300 μN.

Žarko Lazić
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Bonder

Kulike and Soffa

Bondovanje Al žice na poluprovodničke komponente

Stefan Ilić stefan.ilic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

NITRA akreditovani Centri izuzetnih vrednosti