Опрема

Двострани поравњавач

EV Group – E. Thallner, GmbH Aligner EVG 6200276

Уређај за двострано уклапање ликова на фотомаски и на полупроводничкој плочици и осветљавање фотоосетљивог материјала ултравиоличастом светлошћу (350 – 450 nm).

Милена Рашлић Рафајиловић
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Уређај за ласерску израду маски и фотолитографију.

Microtech s.r.l. LaserWriter LW - 405

Уређај се користи за израду маски и фотолитографију – директно исцртавање.

Милче Смиљанић
smilce@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Бондер са поравњавачем

AML-Applied Microengineering Ltd 18X-264VAC-47-63HZ-1.8W AML-AWB 04 Kapitalna oprema

-„in-situ“ поравњавање (алигнмент) и подешавање ликова на супстратима (x, y, z и θ), -тачност до 2 μm, -полуаутоматска PC контрола и аквизиција података, -примена напона и до 2.5 kV, -температуре бондирања и до 560 °C, -примењена сила и до 15000 N, -саморегулишући сув систем за вакуумирање, могућ вакуум у радној комори 10⁻⁶ mbar, -брзо хлађење успостављањем протока азота, итд.

Жарко Лазић
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Микроскоп са скенирајућом сондом – SPM и AFM.TM

TM Microscopes-Bruker, USA-GER AutoProbe CP-Research Kapitalna oprema

Намењен за испитивања морфологије површине методом скенирајуће тунелирајуће микроскопије и микроскопије атомских сила. Опције: нанолитографија, наноиндентација. Уређај има могућност испитивања узорака у течностима. Максималне димензије узорка: 50 mm x 50 mm x 20 mm.

Дана Васиљевић-Радовић
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Микроскоп са скенирајућом сондом – AFM.

NT-MDT, Russia NTEGRA Prima Kapitalna oprema

Намењен за испитивања морфологије површине методом микроскопије атомских сила. Опције: нанолитографија, наноиндентација, одређивање магнетних и електричних особина узорка. Уређај има могућност испитивања узорака у контролисаној атмосфери, вакууму и у течностима. Максималне димензије узорка: пречник – до 40 mm, висина – до 15 mm.

Данијела Ранђеловић danijela@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

FT-IR Спектрофотометар

Thermo Scientific FT-IR 6700 Thermo Scientific Nicolet Kapitalna oprema

FT-IR 6700 је инфрацрвени спектрофотометар са Фуријеовом трансформацијом. Има могућност мерења трансмисије и ATR мерења. Таласне дужине које покрива основни уређај припадају блиској и средњој инфрацрвеној области – од 350 cm⁻¹ до 13.500 cm⁻¹ (740 nm до 28,6 μm).

Катарина Радуловић
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

FT-IR Микроскоп

Thermo Scientific iN10 Microscope

iN10 FT-IR микроскоп је иновативни инструмент са могућношћу мерења малих узорака (свега неколико микрометара) и има могућност мерења у трансмисији, рефлексији, као и ATR мерења. Помоћу CCD камере добијамо слику у видном делу, а IR детектор омогућава добијање IR спектра са површине узорка (мин. 50 μm x 50 μm). У конфигурацију је укључен HgCdTe детектор хлађен течним азотом.

Катарина Радуловић
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Анализатор спектра

Tektronix RSA3308B

Анализа спектра електричног сигнала у реалном времену (у опсегу ширине до 15 MHz) Опсег учестаности: DC до 8 GHz, Frequency Mask Trigger, DANL: -150 dBm/Hz (@1 GHz) Улазна импеданса: 50 Ω, Максимално дозвољени ниво сигнала на улазу: +30 dBm

Милош Франтловић
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

„Lock-In“ појачавач

Signal Recovery 7280 DSP

Инструмент који омогућава издвајање сигнала у присуству великог шума и мерење чистих сигнала на великом опсегу фреквенција и амплитуда.

Милош Франтловић
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Програмабилни двоканални електронски калибратор притиска

Laurell Technologies Spin Processor WS-650Mz-23NPP

Уређај за задавање референтног притиска гаса ради еталонирања мерних инструмената, мерна несигурност 0,01%, опсези 0–2 bar, 0–16 bar и 0–100 bar.

Милош Франтловић
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Спинер

Laurel Technologies Spin Processor WS-650Mz-23NPP

Уређај за наношење танких слојева фоторезиста и других материјала у течном стању.

Милена Рашлић Рафајиловић
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

„Glove box“ систем

Mbraun

Омогућава рад у атмосфери аргона са контролом присуства влаге и кисеоника.

Катарина Цветановић
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Планетарни млин

FRITSCH Mill PULVERISETTE 7 premium line

Планетарни млин са посудом запремине до 80 мл. Намењен је за фино млевење мањих количина узорака, за млевење различитих типова узорака: фармацеутских, металуршких, минералошких, хемијских, биолошких узорака, као и узорака земљишта. Максимална финоћа млевења је 0,1 µm.

Јелена Стевановић
jelena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Уређај за заваривање

OREKLION - Welding, Ltd. PLASMAFIX 50S

Машина за заваривање високе прецизности са могућношћу варијације интензитета, користи микроплазму за заваривање танких мембрана трансмитера притиска. Могућност финог подешавања излазне струје од 0 до 50 А.

Богдан Поповић
bogdanp@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Уређај за катодно распршивање

Sputtering System MRC 822

Спатеровање танких слојева RF и DC методом.

Милија Сарајлић
milijas@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Пећи за дифузију са 6 грејних елемената, за планарне технологије на Si.

Helmut Seier, GmbH Labor-Centurion 666

Процеси у појединим елементима: дифузија примеса фосфора, дифузија примеса бора (плитка и дубока у одвојеним цевима), влажна или сувa оксидација у струји кисеоника у цеви за Si n-типа или у цеви за Si p-типа, одгревање дифундованих слојева. Сваких 6 грејача је једнообразно: температура од 400 до 1400 °C, корисни пречник је 135 mm, зона загревања је 200 mm са тачношћу 0,5 °C.

Катарина Цветановић
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Уређај за осветљавање филмова и фотоплоча.

Mivatec Hard- und Software, GmbH MIVA 2516 T3

Уређај са ксенонском лампом као извором светлости, помоћу кога се директно преносе пројектовани ликови (задати у одговарајућем PC формату) на филм или фотоплочу.

Жарко Лазић
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Аутоматски пробер

KARL SUSS AP4

Намењен за аутоматско и мануелно мерење и карактеризацију полупроводничких компонената пречника до 100 mm, истовремено мерење у 42 тачке што омогућава мерење сложенијих компонената – интегрисаних кола. Опреmlјен стерео микроскопом са могућношћу зумирања, аутоматско кретање у x и y правцу са минималним кораком од 10 μm.

Жарко Лазић
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Профилометар

Taylor-Hobson

Профилометар за мерење дебљине танких филмова (до 1 nm) као и за мерење храпавости у области микроелектронске индустрије и металуршких истраживања. Опремљен електронским појачавачем и аутоматским пишачем за регистрацију кретања мерне игле, као и монокуларним микроскопом са увећањем до 10x. Подешавање силе мерне игле у опсегу од 10 до 300 μN.

Жарко Лазић
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

Бондер

Kulike and Soffa

Бондовање Al жице на полупроводничке компоненте

Стефан Илић stefan.ilic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16

НИТРА акредитовани Центри изузетних вредности